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158 真空与低温 第 32 卷 第 2 期

续表 2
Continued table 2
灵活方法等效标准漏率 等效标准漏率 L
加压压力（绝对 加压 最长候检 拒收极限值 R 1
空腔容积 V L 失效判据对应的 R 1 失效判据（空气） /
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压力）p E /kPa 时间 t 1 /h 时间 t 2 /h （氦）/（Pa·cm /s）
（氦）/（Pa·cm /s） （Pa·cm /s）
3
3
−3
206±15 26 3×10 −3 3.29×10 ~ 1.19×10 −2
−4
206±15 4.5 5×10 −4 5.84×10 ~ 2.28×10 −3
−3 −3 −2
310±15 16.5 3×10 3.18×10 ~ 1.19×10
−4
310±15 3 5×10 −4 5.87×10 ~ 2.31×10 −3
0.1 ⩽V<0.4 1 1×10 −2
−3
413±15 12 3×10 −3 3.09×10 ~ 1.18×10 −2
−4
413±15 2 5×10 −4 5.22×10 ~ 2.06×10 −3
−3 −3 −2
517±15 9.5 3×10 3.07×10 ~ 1.18×10
−4 −4 −3
517±15 2 5×10 6.53×10 ~ 2.58×10
−3
206±15 1 3×10 −3 5.16×10 ~ 1.26×10 −2
−3
206±15 0.5 5×10 −4 2.58×10 ~ 6.34×10 −3
0.4 ⩽V<1.0 1 1×10 −1
−3
310±15 1 3×10 −3 7.76×10 ~ 1.90×10 −2
−4 −3 −3
310±15 0.5 5×10 3.89×10 ~ 9.55×10
−3
206±15 3 3×10 −3 3.12×10 ~ 1.53×10 −2
−4
206±15 0.5 5×10 −4 5.22×10 ~ 2.58×10 −3
1.0 ⩽V<5.0 1 1×10 −1
−3
310±15 2 3×10 −3 3.14×10 ~ 1.54×10 −2
−4 −4 −3
310±15 0.5 5×10 7.85×10 ~ 3.89×10
−3
206±15 6 3×10 −3 3.13×10 ~ 6.23×10 −3
−4
206±15 1 5×10 −4 5.22×10 ~ 1.04×10 −3
5.0 ⩽V<10 1 1×10 −1
−3
310±15 4 3×10 −3 3.14×10 ~ 6.26×10 −3
−4 −4 −3
310±15 1 5×10 7.86×10 ~ 1.57×10
−3 −3 −3
206±15 12 3×10 3.13×10 ~ 6.23×10
10 ⩽V<20 1 1×10 −1
−4
206±15 2 5×10 −4 5.22×10 ~ 1.04×10 −3

−3
3
同样以上述双面双腔 CQFP240 封装为例，按照 漏率拒收极限值 3×10 Pa·cm /s。这表明，选择扩
3
表 2，内空腔容积为 0.27 cm 的腔体对应的加压条件 展的固定方法试验条件比灵活方法的判据更严苛，
206 kPa、26 h 为加压压力最小、加压时间最长。以此 对可靠性是有利的。
为该封装的氦质谱细检漏加压条件，计算了当采用 3.3 腔体泄漏的定位
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−3
R 1 =3×10 Pa·cm /s 的测量漏率拒收极限值时，两个腔 对于漏率较大的器件，其泄漏部位通常采用氟
体分别对应灵活方法等效标准漏率 L 拒收判据的测 碳化合物粗检漏方法进行定位，这种粗检漏方法同
量漏率 R 1 以及对应固定方法 R 1 的等效标准漏率 L。 样适用于多腔体封装的泄漏定位。与单腔体封装
从表 3 可以看出，在 206 kPa、26 h 的加压条件 不同的是，多腔体封装如双面双腔封装的正反两个
下，腔体 1 和腔体 2 对应等效标准漏率失效判据的 腔体都有可能存在较大泄漏，当器件置于 125 ℃ 的
测量漏率 R 1 均大于固定方法的测量漏率拒收极限 高温氟碳化合物中，正反腔体泄漏部位同时会出现
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值 R 1 （3×10 Pa·cm /s）；同样在 310 kPa、16.5 h 的加 冒泡现象，容易出现干扰，尤其是反面腔体的冒泡
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压条件下，腔体 1 和腔体 2 对应等效标准漏率失效 不易准确识别。为规避这种风险，可采用两次粗检
判据的测量漏率 R 1 依然是均大于固定方法的测量 漏方式对双面双腔器件进行泄漏定位。根据研究