Page 41 - 《真空与低温》2026年第2期

160 真空与低温 第 32 卷 第 2 期

（2）选择固定方法即试验条件 A 1 时建议采用
激光干涉仪测量谱图
扩展的试验条件，即根据内空腔容积不同档位，选
密封合格:
只有一个 择其中加压压力最小、加压时间最长的加压条件
干涉条纹
作为试验加压条件；或者选择灵活方法即试验条
件 A 2 ，并以不同腔体中对应的最大允许拒收极限
粗漏: 值 R 1 的最小值 R 1-mi 作为测量漏率拒收判据。
n
无干涉条纹
盖板无形变 （3）采用光学检漏法进行多腔体封装器件的密
封试验可以准确定位出现泄漏的腔体。

参考文献：
密封不合格: 一个干涉条纹相当于
多个干涉条纹盖板 盖板形变量变化
形变量出现变化 0.26 μm
[1] 薛大同，肖祥正. 密封器件压氦和预充氦细检漏的等效标
图 3 激光干涉仪测量谱图示例 准漏率上限 [J]. 真空科学与技术学报，2013，33（8）：721−
Fig. 3 A sample of laser interferometer phase maps 729.

[2] GJB548C-2021 微电子器件试验方法和程序 [S].
4 结论 [3] 葛秋玲，肖汉武. 深入理解光学检漏：漏率计算及其他 [J].

（1）根据 GJB548C—2021 “方法 1014.3 密封” 电子与封装，2018，18（7）：7−11.
选择固定方法即试验条件 A 1 进行多腔体封装器件 [4] 肖汉武，蒋玉齐. 关于氦质谱检漏固定方法的几点讨论 [J].
检漏时，假若器件不同腔体处于不同的内空腔容 真空与低温，2020，26（6）：442−448.
积分档，如某一腔体内空腔容积 0.1 ⩽V<0.4 cm 而 [5] 薛大同，肖祥正，李慧娟，等. 氦质谱背压检漏方法研究 [J].
3
3
另一腔体内空腔容积 0.4 ⩽V<1.0 cm 时，若以内空 真空科学与技术学报，2011，31（1）：105−109.
腔较大的腔体选择加压压力最小、加压时间最长 [6] 肖汉武. 光学检漏的试验时间问题 [J]. 真空与低温，2021，
27（6）：564−571.
的加压条件，其测量漏率拒收极限值判据对内空腔
较小的腔体偏松，存在漏判风险。 （责任编辑：郭 云）

引文信息：肖汉武，陈婷. 双腔或多腔体封装器件的密封检测[J]. 真空与低温，2026，32（2）：153−160.
XIAO H W，CHEN T. Hermeticity testing of dual or multi-cavity sealed devices[J]. Vacuum and Cryogenics，2026，32（2）：
153−160.