Page 38 - 《真空与低温》2026年第2期

肖汉武等：双腔或多腔体封装器件的密封检测 157

从表 1 可以看出，腔 1 对应的等效标准漏率为 若对固定方法中的加压条件进行扩展，即在
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3.98×10 Pa·cm /s，大于 GJB548C—2021 规定的等 内空腔容积小于 0.4 cm 的分档中增加加压压力
效标准漏率失效判据 1×10 Pa·cm /s，而规定的等效 分别为 206 kPa、310 kPa 的加压条件，即可覆盖全
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标准漏率失效判据所对应的测量漏率 R 1 为 1.93× 范围。表 2 为 GJB548C—2021 方法 1014.3 密封中
10 Pa·cm /s， 则 小 于 固 定 方 法 中 的 拒 收 极 限 值 试验条件 A 1 的固定条件的扩展，即在每一个体积
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R 1 （3×10 Pa·cm /s）。即便是选择 p E =310 kPa、加压 档位中都有加压压力分别为 206 kPa、310 kPa 的
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时间 t 1 =1 h 作为该器件的细检漏加压条件，腔 1 对 加压条件（310 kPa 不适合 10≤V<20 档位）。两种
应的等效标准漏率为 3.23×10 Pa·cm /s，同样大于 加压压力下设置了不同的加压时间，根据计算结果，
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GJB548C—2021 规定的等效标准漏率失效判据 1× 新增的这些加压条件对应灵活方法等效标准漏率
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10 Pa·cm /s，而规定的等效标准漏率失效判据所 L 失效判据的测量漏率 R 1 均大于拒收极限值 R 1 值。
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对应的测量漏率 R 1 则为 2.90×10 Pa·cm /s，同样小 当多腔体封装器件的不同腔体的内空腔容积分别
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于固定方法中的拒收极限值 R 1 （3×10 Pa·cm /s）。 处于不同档位时，选择这些档位中相同加压压力、
也就是说，若依据腔 2 的内空腔容积选择加压压力 加压时间最长的作为细检漏加压条件，以拒收极限
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最小、加压时间最长的固定方法中的加压条件，对 值 R 1 （3×10 Pa·cm /s）作为测量漏率判据，即可确
于封装中内空腔容积较小的腔 1 而言，漏率判据偏 保所有腔体的测量漏率均小于拒收极限值 R 1 （3×
松，存在漏检风险。 10 Pa·cm /s）。
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表 2 扩展固定方法中的试验条件 A 1
Tab. 2 The extended fixed conditions for condition A 1
灵活方法等效标准漏率 等效标准漏率 L
加压压力（绝对 加压 最长候检 拒收极限值 R 1
空腔容积 V L 失效判据对应的 R 1 失效判据（空气） /
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压力）p E /kPa 时间 t 1 /h 时间 t 2 /h （氦）/（Pa·cm /s）
（氦）/（Pa·cm /s） （Pa·cm /s）
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206±15 13 3×10 −3 3.17×10 ~ 1.38×10 −2
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206±15 2.5 5×10 −4 6.40×10 ~ 1.13×10 −2
−3
310±15 8.5 3×10 −3 3.18×10 ~ 2.07×10 −2
−4 −4 −2
310±15 1.5 5×10 5.80×10 ~ 1.33×10
−3
413±15 6.5 3×10 −3 3.27×10 ~ 2.74×10 −2
0.0007 ⩽V<0.05 1 5×10 −3
−4
413±15 1.5 5×10 −4 7.73×10 ~ 1.78×10 −2
−3
517±15 5 3×10 −3 3.17×10 ~ 3.35×10 −2
−4 −4 −2
517±15 1 5×10 6.47×10 ~ 1.72×10
−3 −3 −2
620±15 4 3×10 3.06×10 ~ 3.89×10
−4
620±15 1 5×10 −4 7.76×10 ~ 2.06×10 −2
−3
206±15 7 3×10 −3 3.51×10 ~ 6.72×10 −3
−4
206±15 1.5 5×10 −4 7.71×10 ~ 1.52×10 −3
−3 −3 −3
310±15 4.5 3×10 3.43×10 ~ 6.66×10
−4
310±15 1 5×10 −4 7.76×10 ~ 1.53×10 −3
−3
413±15 3.5 3×10 −3 3.57×10 ~ 6.96×10 −3
0.05 ⩽V<0.1 1 1×10 −2
−3
413±15 1 5×10 −4 1.03×10 ~ 2.04×10 −3
−3 −3 −3
517±15 2.5 3×10 3.21×10 ~ 6.29×10
−4 −4 −3
517±15 0.5 5×10 6.48×10 ~ 1.28×10
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620±15 2 3×10 −3 3.09×10 ~ 6.06×10 −3
−4
620±15 0.5 5×10 −4 7.78×10 ~ 1.54×10 −3