Page 140 - 《真空与低温》2025年第3期

王耀之等：基于 PIC-MCC 方法的溅射离子泵抽速计算方法 411

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Vacuum，2023，209（3）：111792. （责任编辑：郭 云）

引文信息：王耀之，刘奕新，张华鹏，等. 基于 PIC-MCC 方法的溅射离子泵抽速计算方法[J]. 真空与低温，2025，31（3）：
405−411.
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