Page 35 - 《真空与低温》2025年第5期

574 真空与低温 第 31 卷 第 5 期

得，−150 V 偏压下的磨痕最宽，三种涂层的磨痕中 特征，更进一步证实摩擦过程中，涂层均发生了严
间区域内均出现不同程度的犁沟划痕及颗粒形貌 重的磨粒磨损。

×10 −6
10
1.2 1.0
1.0 8 0.8
摩擦系数 0.8 磨损率/[mm 3 /（N·m）] 6 0.6 平均摩擦系数
0.6

0.4 4 0.4
−50 V
−100 V 2 磨损率
0.2 −150 V 平均摩擦系数 0.2
0 0 0
0 500 1 000 1 500 2 000 2 500 3 000 −50 −100 −150
循环圈数 偏压/V
（a）摩擦系数 （b）平均摩擦系数与磨损率

图 8 不同偏压 TiAlN 涂层的摩擦学性能
Fig. 8 Tribological properties of TiAlN coatings with different bias voltage

深度/nm
850
0 800
0.2 700
截面积: 62.5 μm 2 0.4 600
0.6
mm 0.8 500
1.0
640 nm 1.2 400
1.4 300
1.6
200
850 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 1.6 100
nm mm 0
（a）剖面图（−50 V） （b）三维形貌图（−50 V）
深度/nm
1 500
0 1 400
0.2
0.4 1 200
0.6
截面积: 127 μm 2 mm 0.8 1 000
1.0 800
1.2
847 nm
1.4 600
1.6
400
1 500 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 1.6 200
nm
mm
0
（c）剖面图（−100 V） （d）三维形貌图（−100 V）
深度/nm
1 000
0 900
0.2 800
0.4
截面积: 138 μm 2 0.6 700
0.8
822 nm mm 1.0 600
1.2 500
1.4 400
1.6
300
1 080 200
nm 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 1.6
mm 100
0
（e）剖面图（−150 V） （f）三维形貌图（−150 V）
图 9 不同偏压下 TiAlN 涂层的磨痕轮廓
Fig. 9 Wear track morphologies of TiAlN coatings deposited at different bias voltages