Page 36 - 《真空与低温》2025年第5期

周 敏等：基底偏压对 TiAlN 涂层微观结构及摩擦学性能影响 575

3 结论 150.
采用电弧离子镀技术在 YG8 硬质合金表面制 [8] KUZNETSOVA T，LAPITSKAYA V，KHABARAVA A，et al.
备了 TiAlN 涂层，探究了不同偏压对 TiAlN 涂层微 Effect of metallic or non-metallic element addition on surface
观结构和摩擦学性能的影响，得出以下结论： topography and mechanical properties of CrN coatings[J].
（1）涂层为柱状生长结构，随偏压的提高，涂层 Nanomaterials，2020，10（12）：2361.
柱状结构变得更为致密。偏压高于−50 V 之后，涂 [9] XIAO B，ZHANG T F，GUO Z，et al. Mechanical，oxidation，
层表现为 fcc-（Ti，Al）N 结构的（111）晶面择优取向 and cutting properties of AlCrN/AlTiSiN nano-multilayer
生长。 coatings[J]. Surface and Coatings Technology， 2022， 433：
（2）TiAlN 涂层的硬度和弹性模量随偏压升高 128094.

呈先增大后减小的趋势，−100 V 下硬度和弹性模 [10] SHUAI J T，ZUO X，WANG Z Y，et al. Comparative study
量达到最大值，分别为 32.1 GPa 和 416.0 GPa，并且 on crack resistance of TiAlN monolithic and Ti/TiAlN mul-
涂层与基体结合力均达到 HF1 级别。 tilayer coatings[J]. Ceramics International， 2020， 46（5）：
（3）涂层摩擦过程中，磨粒磨损是其主要磨损 6672−6681.

机理，随着基体偏压的增大，TiAlN 涂层摩擦系 [11] 周军，樊湘芳，李涛，等. 弧电流对多弧离子镀 TiAlN 涂
数与磨损率也随之增大，在−50 V 偏压下，涂层有 层表面形貌和性能的影响 [J]. 材料保护，2018，51（6）：
最低的摩擦系数为 0.67 和最低的磨损率为 4.17× 74−78.
−6
3
10 mm /（N·m）。 [12] 曹慧，郭玉利，韩晓雷. 不同负偏压下磁控溅射纳米
TiAlN 薄膜的微观结构与耐蚀性能 [J]. 材料保护，2018，
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