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482 真空与低温 第 31 卷 第 4 期

3 结论 tin oxides films[J]. Materials Science and Engineering： B，
2006，129（1/3）：154−160.
本文采用磁控溅射法制备了 Cu/ITO/PET 薄膜，
[6] CHAE J H，KIM D. Effect of the Cu underlayer on the opto-
搭建了一套弯曲测试装置，对薄膜进行了弯曲和循
electrical properties of ITO/Cu thin films[J]. Renewable en-
环弯曲实验，使用四探针测试仪测试了薄膜的方阻
变化情况，使用 SEM 测得了薄膜弯曲测试前后的 ergy，2010，35（1）：314−317.
[7] WANG X，LI J，SHI S，et al. Microstructure and opto-elec-
表面形貌。结果表明，在弯曲过程中，随着弯曲半
tric properties of Cu/ITO thin films[J]. Journal of Alloys and
径减小到 7 mm，薄膜在内弯曲模式下的方阻先发
Compounds，2012，536：231−235.
生变化，镀膜试样没有初始应力弯曲现象，说明薄
[8] LIN T C，CHANG S C，CHIU C F. Annealing effect of ITO
膜在内弯曲模式下更易发生破坏。当弯曲半径为
and ITO/Cu transparent conductive films in low pressure hy-
3 mm 时，薄膜在外弯曲模式下产生的裂纹比内弯
drogen atmosphere[J]. Materials Science and Engineering：B，
曲更明显，方阻更大，原因是在内弯曲模式下，膜层
2006，129（1/3）：39−42.
弯折处会在某些情况下相互搭接，形成新的导电通
[9] 常天海，孙凯. ITO 薄膜的磁控溅射工艺优化研究 [J]. 真空
道而使薄膜的导电能力有微小的提升，而外弯曲膜
科学与技术学报，2009，29（3）：324−327.
层弯折处膜层的脱落则会导致薄膜的方阻升高。
[10] 喻志农，夏樊，李玉琼，等. SiO 2 和 TiO 2 缓冲层对柔性
经过 1 500 次弯曲半径 9 mm 的循环弯曲，薄膜在
ITO 薄膜弯曲特性的影响 [J]. 北京理工大学学报，2009，
内弯曲模式下产生了细微的裂纹，在外弯曲模式下
29（8）：699−703.
没有观察到裂纹，薄膜在 1 500 次内弯曲模式下的
[11] AFRE R A，HAYASHI Y，SOGA T，et al. Effect of liquid
方阻变化更大。内、外弯曲半径从 9 mm 减小到
nitrogen treatment on the structural， electrical and optical
3 mm，薄膜方阻相对变化率在 8% 以内，当弯曲半
properties of indium tin oxide coated glass substrate[J].
径为 9 mm 时，经过 6 组最高 1 500 次内、外弯曲实
Chemical Physics Letters，2009，481（1/3）：68−72.
验测试，薄膜的方阻发生了起伏变化，相对变化率
[12] PARK S I，AHN J H，FENG X，et al. Theoretical and exper-
均维持在 6% 以内，这是由于 Cu 层具有延展性，即
imental studies of bending of inorganic electronic materials on
使在 ITO 层经历超过其破坏极限的应变后，也能提
plastic substrates[J]. Advanced Functional Materials，2008，
供有效的导电性。实验结果表明制备的柔性薄膜
18（18）：2673−2684.
具有较好的导电和耐弯曲性能。
[13] CHOA S H，CHO C K，HWANG W J，et al. Mechanical inte-
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[5] YANG C H，LEE S C，CHEN S C，et al. The effect of an-
nealing treatment on microstructure and properties of indium （责任编辑：郭 云）

引文信息：徐壮壮，王国栋，束民涛，等. Cu/ITO/PET 柔性薄膜的制备和弯曲性能研究[J]. 真空与低温，2025，31（4）：478−482.
XU Z Z，WANG G D，SHU M T，et al. Preparation and bending properties of Cu/ITO/PET flexible films[J]. Vacuum and
Cryogenics，2025，31（4）：478−482.