Page 50 - 《真空与低温》2025年第3期
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刘晨溪等:MEMS     热阴极电离真空计电路系统的开发                                  321


                 真空与低温,2022,28(4):375−391.                          究与设计   [D]. 天津:天津工业大学,2023.
              [6]   WILLIAMS  K  R, MULLER  R  S.  Micromachined  hot-fila-  [11]   曾京波. 集成  DC-DC  转换器的高性能隔离器芯片研究
                 ment  ionization  pressure  sensor  and  magnetometer[C]//Pro-  [D]. 杭州:浙江大学,2024.
                 ceedings of International Solid State Sensors and Actuators  [12]   薛鹏. 一款新型反激式开关电源的设计与实现  [D]. 南京:
                 Conference (Transducers' 97). IEEE,1997,2:1249-1252.  南京邮电大学,2022.
              [7]   WANG J Q,TANG Z,HUANG Q. Integrated vacuum mi-  [13]   叶磊. 高精度数字程控微电流测量装置的研究       [D]. 成都:
                 crosensor  systems  in  CMOS  technology[C]//Micro  Electro  成都理工大学,2019.
                 Mechanical Systems,Springer,2017:1-18.         [14]   马恒旭. 一种基于   FPGA  的宽量程高精度     IVR  测量仪
                                                                    [D]. 成都:成都理工大学,2021.
              [8]   ZHAO Y Q,YU Y Q,HE Y D,et al. Wafer-scale fabricated
                                                                [15]   刘小明,彭静,刘涛. 微弱电流测量中的         I-F  转换电路的
                 MEMS-type  ionization  vacuum  sensors  based  on  through
                 glass via technology[J]. IEEE Electron Device Letters,2024,  设计  [J]. 兰州交通大学学报,2011,30(3):99−102.
                                                                [16]   孙健,李得天,王永军,等. 极高真空测量中微小离子流检
                 46(2):314−317.
                                                                    测技术研究    [J]. 真空与低温,2016,22(2):75−80.
              [9]   葛金国,张虎忠,姚鹏,等. 热阴极电离真空计相对灵敏度
                                                                [17]   季禹杰. 高精度国产化微弱电流测量仪器设计与实现
                 数值计算与实验研究        [J]. 真空科学与技术学报,2022,
                                                                    [D]. 成都:电子科技大学,2024.
                 42(12):908−913.
              [10]   方玉婷. 应用于  LED  背光驱动的自调零运算放大器的研                                    (责任编辑:郭 云)
















































              引文信息:刘晨溪,郑润涵,李志伟,等. MEMS            热阴极电离真空计电路系统的开发[J]. 真空与低温,2025,31(3):315−321.
                      LIU C X, ZHENG R H, LI Z W, et al. Development of circuit system for MEMS hot ionization gauge[J]. Vacuum and
                      Cryogenics,2025,31(3):315−321.
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