Page 31 - 《真空与低温》2026年第1期

28 真空与低温 第 32 卷 第 1 期

SRG 对 Ar、Kr、Xe 等三种惰性气体的实际切向动 动范围较小，平均值较为接近。表 2 为 SRG 校准
量传递系数 σ ef 测量结果的总体趋势较为一致，波 结果的平均值与偏差。
f

1.3 SRG-2CE 1.3 SRG-2CE 1.3 SRG-2CE
实际切向动量传递系数σ eff 1.1 SRG-VIMI 实际切向动量传递系数σ eff 1.1 SRG-VIMI 实际切向动量传递系数σ eff 1.1 SRG-VIMI
1.2
1.2
1.2
SRG-01B
SRG-01B
SRG-01B
1.0
1.0
1.0
0.9
0.9
0.9
0.8
0.7
0.7
0.7
1×10 −4 1×10 −3 1×10 −2 1×10 −1 1 0.8 −4 1×10 −3 1×10 −2 1×10 −1 1 0.8 −4 1×10 −3 1×10 −2 1×10 −1 1
1×10
1×10
标准压力/Pa 标准压力/Pa 标准压力/Pa
（a）Ar校准结果 （b）Kr校准结果 （c）Xe校准结果
图 2 SRG 实际切向动量传递系数 σ ef 校准结果
f
Fig. 2 Calibration results of effective tangential momentum accommodation coefficient σ eff for SRG

表 2 SRG 校准结果的平均值与偏差
Tab. 2 Mean values and deviations of SRG calibration results
Ar Kr Xe
SRG 型号
平均值 测量偏差/% 平均值 测量偏差/% 平均值 测量偏差/%
SRG-2CE 0.993 −1.11～2.26 0.986 −0.92～1.68 1.006 −2.70～2.56
SRG-01B 0.992 −1.15～2.49 0.984 −0.55～0.30 0.998 −0.81～0.89
SRG-VIM1 0.991 −1.21～2.80 0.983 −1.09～1.68 1.000 −3.10～2.63

结果表明，磁悬浮转子真空计型号对被校气体 整理式（5）～（7）可得：
的 σ ef 测量结果影响较小，对上述三种气体校准结 √
f
2
u r (σ eff ) = u (p ind )+u (p std ) （8）
2
r
r
果最大偏差分别为 0.20%、0.30%、0.80%，主要与转
式中： u r (p ind ) u r (p std )分别为 SRG 测量压力、标准
、
子表面状况有关；磁悬浮转子真空计对 Ar、Kr、Xe
压力的相对标准不确定度。
等三种惰性气体 σ ef 校准结果平均值分别为 0.992、
f
通过贝塞尔式（9）来评定 u r (p ind )的 A 类相对标
0.984、0.999；不同压力下，相同型号的 SRG 对同种
准不确定度：
气体校准结果出现波动的原因与腔室壁面气体脱  √
附及前级压力的测量精度有关。  ∑ [ (p ind ) i − p ind ] 2
n




s(p ind ) = i=1

2.2 测量不确定度评定  n−1






SRG 的实际切向动量传递系数 σ ef 的标准不  s(p ind ) （9）
f
u c (p ind ) =

 √

确定度可表示为 [21-22] ：  n




√  u c (p ind )

u r (p ind ) =


2
2
u c (σ eff ) = c ·u (p ind )+c ·u (p std ) （5）  p ind
2
2
2
1
c
c
式中： u c (p ind )为 p in 的标准不确定度； u c (p std )为 p std 式中：（p ind ） i 为第 i 次测量的结果； p ind为 n 次测量
d
的标准不确定度；c 1 、c 2 表达式如下： 结果的算术平均值。
 1 表 3 为不同压力下 SRG 对惰性气体校准结果
 ∂σ eff
 c 1 = =


 的 类相对标准不确定度。
 A
 ∂p ind p std （6）


d
 ∂σ eff p ind 标准压力 p st 的相对标准不确定度可表示为：

c 2 = = −

 2
∂p std p √
std ( )
SRG 的实际切向动量传递系数 σ ef 相对标准 u r (p std ) = u (p 0 )+u 2 r V 30 （10）
2
f
r
不确定度可表示为： V 15
u c (σ eff ) 式中： u r (p 0 )为前级压力 p 0 的相对标准不确定度，
u r (σ eff ) = （7）
由校准证书可知为 0.4%； u r (V 30 /V 15 )为容积比测量
σ eff