Page 40 - 《真空与低温》2026年第1期

刘金生等：宽范围、高精度、批量化复合型真空测试校准装置设计与实现 37

准范围及不确定度进行测试。 以模块化和选择性组合为基础的宽范围、高精度、
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首先选用满量程为 1.33×10 Pa 和 1.33×10 Pa 批量化校准测试能力。
的 CDG045D 型电容薄膜真空计、复合真空计 MPG 该装置可对热阴极电离真空计、冷阴极电离真
401、电离真空计 IE414 作为校准对象，将其在高 空计、电阻真空计、热偶真空计、压阻真空计和电容
一级计量单位溯源后安装在本装置上，在 1×10 ～ 薄膜真空计等多种真空计开展检定和校准工作，为
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1×10 Pa 范围内进行校准；校准点包括校准上限和 真空技术领域应用提供计量服务和技术保障 [6，12] 。
下限点以及每个量级分别在 30%、60%、90% 附近 该测试平台预留丰富的扩展接口，可供不同类
选取 3 个点，根据校准结果验证真空压力的校准范
型的真空设备接入，支持开展各种宽范围真空设备
围。在上述校准点中选择与高一级计量单位溯源
量值传递与扩展真空应用试验。
证书上相近点采用式（6）结合本装置及被校设备的
测量结果及不确定度进行计算，从而验证装置的扩 参考文献：
展不确定度。
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[1] 卢耀文，吴端，王欢，等. 一种（10 ～10 ） Pa 真空计校准装
在选取的 3 个测试点上，本装置与高一级计量
置的设计 [J]. 真空科学与技术学报，2021，41（1）：29−34.
标准器具的测量结果之差和不确定度之间的关系，
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[2] 卢耀文，柏向春，代建设，等. 一种 10 ～10 Pa 现场真空计
满足式（6），充分验证了本装置的校准范围和扩展
校准装置的设计 [J]. 真空科学与技术学报，2020，40（6） ：
不确定度范围，均满足设计指标要求。
531−535.
3 扩展应用试验情况 [3] 李得天，李正海，郭美如. 超高/极高真空校准装置的研制 [J].
本校准装置具有丰富的扩展接口，利用本装置 真空科学与技术学报，2007，27（2）：92−96.
提供的超高真空度环境，先后开展吸气剂泵吸气抽 [4] YOSHIDA H，ARAI K，AKIMICHI H，et al. Newly devel-
速和吸气容量验证试验。在 VC3 超高真空室上接 oped standard conductance element for in situ calibration of
high vacuum gauges[J]. Measurement，2012，45：2452−2455.
入被测吸气剂泵（SAES HV100），活化后开始工作。
[5] 卢耀文，陈旭，李得天，等. 便携式真空计校准装置 [J]. 真
将配气室 VC5 接入自适应流量计，给 VC2 稳定通
空科学与技术学报，2013，33（5）：462−467.
入氢气，保持 VC2 校准室的压力稳定。VC2 内的
[6] 李得天，陈旭，于红燕，等. 中国真空计量发展概述 [J]. 真空
氢气通过分子流导 C4 对 VC3 稳定供气，记录吸气
与低温，2004，10（1）：6−16.
剂泵的累积流量，试验结束标志为吸气抽速降低至
[7] 马义刚，李智慧. 超高真空和高真空技术的应用 [J]. 真空，
标称抽速的 5%。该验证试验持续近 3 个月，连续
2021，58（4）：98−102.
进行了 20 次验证试验，结果表明由本装置扩展搭
[8] 蔡潇，曹曾，张炜，等. HL-2M 装置真空抽气系统的研制 [J].
建的验证测试平台，稳定可靠。该型号吸气剂泵的
核聚变与等离子体物理，2021，41（增刊 1）：355−359.
标称吸气容量为 86 450 Pa·L，实测吸气容量为标称
[9] 马永胜，郭迪舟，景泳淼，等. 超高真空法兰金属密封方
吸气容量的 99.01%，测量计算结果与吸气剂泵标
法 [J]. 真空，2016，53（6）：9−11.
称抽速和吸气容量相符，同时验证该型号吸气剂泵
[10] 彭光东，李民，陈丽，等. 多功能真空校准装置 [J]. 真空，
的寿命次数不低于 20 次。
2017，54（2）：48−51.
4 结论 [11] 成永军，李得天，张涤新，等. 极高真空校准室内残余气体
的成分分析 [J]. 真空科学与技术学报，2010，30（1）：54−59.
本文研制的复合型宽范围、高精度、批量化复
[12] 李得天，成永军，冯焱，等. 超高/极高真空校准研究进展 [J].
合型综合真空校准装置，通过综合设计，采用静态
真空科学与技术学报，2009，29（6）：641−648.
比较法、动态比较法、动态流量法相结合的校准技
术，解决了宽范围真空计一次性校准的难题，具备 （责任编辑：郭 云）

引文信息：刘金生，莫言，凌波，等. 宽范围、高精度、批量化复合型真空测试校准装置设计与实现[J]. 真空与低温，2026，
32（1）：31−37.
LIU J S， MO Y， LING B， et al. Design and implementation of a wide-range， high-precision， batch-processed composite
vacuum test and calibration device[J]. Vacuum and Cryogenics，2026，32（1）：31−37.