Page 39 - 《真空与低温》2026年第1期

36 真空与低温 第 32 卷 第 1 期

−6
表 5 1×10 ～1×10 Pa 范围内的测量不确定度评定结果
−4
−4
−6
Tab. 5 Measurement uncertainty evaluation results for calibration range 1×10 ～1×10 Pa
不确定度来源 校准范围/Pa 符号 不确定度分量/%
入口压力测量标准引入 u(p std ) 0.54
C4 分子流导 u(C 4 ) 0.90
C5 分子流导 u(C 5 ) 0.65
C5 返流比 u(α 5 ) 0.5
−5
1×10 ～1×10 −4 0.02
本底压力波动 −6 −5 u(p 0 )
1×10 ～1×10 0.23
被校温度变化引入 u T 0.58
−5 −4
1×10 ～1×10 1.45
相对合成标准不确定度 u c,r (p)
−6
1×10 ～1×10 −5 1.47
−5 −4
1×10 ～1×10 2.9
相对扩展不确定度（k=2） U r
−6
1×10 ～1×10 −5 3.0

−6
−8
2.2.4 1×10 ～1×10 Pa 校准范围的测量不确定度 综上所述，本装置真空压力校准测量不确定度
评定 评定汇总如表 7 所列。

−8
−6
对于 1×10 ～1×10 Pa 范围内的压力采用动
表 7 真空压力校准测量不确定度汇总
态流量法实现校准，根据校准方法结合不确定度传
Tab. 7 Summary of measurement uncertainty in vacuum
播规律，得到测量不确定度的计算公式为：
pressure calibration
2
2
2
2
u c,r (p) =u(p std ) +u(C 6 ) +u(C 7 ) + 扩展不确定度
序号 校准范围/Pa 校准室 校准方法
2
2
u(p 0 ) +u +u 2 （5） （k=2）/%
α 7 T 5 −1
式中： u(C 6 )为 C6 分子流导引入的不确定度分量； 1 1×10 ～1×10 VC2 静态比较法 1.6
−1
2 1×10 ～1×10 −2 VC3 动态比较法 1.9
u(C 7 )为 C7 分子流导引入的不确定度分量； u(α 7 )为
−2
3 1×10 ～1×10 −4 VC3 动态比较法 2.9
C7 返流比引入的不确定度分量。
−4
4 1×10 ～1×10 −5 VC3 动态流量法 2.9
根据式（5），动态流量法不确定度分量主要由 −5 −6
5 1×10 ～1×10 VC3 动态流量法 3.0
入口压力测量标准、分子流导、本底压力、返流比 −6 −8
6 1×10 ～1×10 VC4 动态流量法 5.3
及校准过程中温度变化等因素组成。
−6
−8
1×10 ～1×10 Pa 校准范围内的测量不确定度 2.3 真空压力测量标准性能验证
评定结果如表 6 所列。 根据 GJB 2749A—2009《军事计量测量标准建
立与保持通用要求》，用高一级计量标准器具和本
−8
表 6 1×10 ～1×10 Pa 范围内的测量不确定度评定结果 装置的计量标准器具校准同一台分辨力足够且稳
−6
Tab. 6 Measurement uncertainty evaluation results for
定性好的被测对象，通过计算每个校准点的测量结
−8 −6
calibration range 1×10 ～1×10 Pa
果与装置测量不确定度之间的关系，判断本装置
不确定度来源 符号 不确定度分量/% 的校准范围和不确定度是否满足要求。计算如
入口压力测量标准引入 u(p std ) 1.60 式（6）：
C6 分子流导 u(C 4 ) 0.80 √
|Y −Y 0 | ⩽ U +U 2 （6）
2
C7 分子流导 u(C 5 ) 0.65 0
式中： Y 0为高一级计量标准器具给出的测量结果；
C7 返流比 u(α 5 ) 0.50
Y为本装置计量标准器具给出的测量结果； U 0为
本底压力 u(p 0 ) 1.90
高一级计量标准器具给出的扩展不确定度； U为本
被校温度变化引入 u T 0.58
装置计量标准器具的扩展不确定度。
相对合成标准不确定度 u c,r (p) 2.79
校准过程中，根据目标压力范围选取相应校准
相对扩展不确定度（k=2） 5.80
U r
方法，在特定压力点采用特定校准方法对装置的校