Page 3 - 《真空与低温》2025年第3期

在其他真空电子器件版块，“受超构材料启发的真空电子器件研究进展”介绍了受超构

材料启发的反向切伦科夫辐射器件和增强渡越辐射器件的研究。“基于厚硅片的MEMS碱金
属原子气室的制备研究”研制了一种具有两个腔室的玻璃-硅-玻璃三层结构的原子气室，

实现了 3 mm 的光路长度。“InAs/GaSbⅡ类超晶格多色红外探测器降低串音影响的研究进

展”聚焦多色红外探测器的性能影响因素，系统介绍了InAs/GaSbⅡ类超晶格多色红外探测

器的研究进展。“基于CH3NH3PbI3-xClx钙钛矿的自滤波窄带光电探测器研究”研制了一种自

滤波窄带钙钛矿光电探测器，实现了在476～494 nm、526～544 nm、586～604 nm波段范围
的自滤波功能。“适用于微聚焦X射线源的微纳结构阳极钼靶热管理：热失稳机制及解决策

略”提出了一种采用旋转阳极钼靶交替受激的器件热管理策略。“基于PIC-MCC方法的溅射

离子泵抽速计算方法”聚焦基于溅射离子泵潘宁放电单元的实际工作条件，采用PIC-MCC

方法对单个潘宁放电单元进行了模拟分析。“芯片级原子束钟真空腔技术研究”针对芯片级

原子束钟的真空腔结构，设计了工艺流程，并进行相应制备研究，为实现芯片级原子束钟奠

定良好的工艺基础。
专刊收录的论文反映了真空电子材料与器件的最新进展和发展趋势，希望专刊的出版能

够启发该领域相关科技工作者的思路，推动我国真空电子材料与器件不断创新发展。

客 座 主 编

佘峻聪，中山大学二级教授、博导、电子与信息工程学院 （微电子学院） 院

长。国家高层次人才，国家基金委优秀青年基金获得者，全国优博论文奖获得者，

广东省“珠江学者”特聘教授，国家重点研发计划项目负责人。主要从事真空微纳

电子器件、微纳加工技术及装备部件研究；在真空微纳电子器件技术和应用、新型
集成加工原理和方法上取得创新成果。

魏贤龙，北京大学长聘副教授、博导、电子学院副院长、纳米器件物理与化学

教育部重点实验室副主任，北京真空学会副理事长。2009年，在北京大学电子学
系获博士学位，2009-2012 年，在日本国立材料研究所先后任博士后和独立研究

员，2012 年 9 月至今，在北京大学工作。曾获国家优青、全国优博，主持国家自

然基金原创探索项目、国家重点研发计划课题等。主要从事片上集成真空电子器件

和系统等方向的研究，相关工作发表SCI论文100余篇，获授权专利20余项。