Page 2 - 《真空与低温》2025年第3期
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“真空电子材料与器件”专刊
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序 言
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真空电子材料与器件是真空领域的重要研究方向。为了反映真空电子材料与器件的最新
研究进展，我们推出“真空电子材料与器件专刊”，以馈读者。
本期专刊共收录 18 篇专业学术论文，内容涉及微纳真空晶体管、真空计、电子源等方
面的创新成果。
在微纳真空晶体管论文版块，“微纳空气沟道晶体管技术研究进展综述”较完整地阐述
了微纳空气沟道晶体管在器件结构设计和工艺制备方面的研究进展，并探讨了其应用前景。
“背栅型纳米真空沟道晶体管阵列的电学特性及其高频小信号等效电路模型研究”研究了
一种背栅型纳米真空沟道晶体管阵列的电学特性，并提出了两种高频小信号等效电路模型。
“可集成真空微纳电子器件发展与展望”系统总结了真空微纳电子器件的发展历程和技术进
展，重点探讨了其作为传统真空管与固态器件桥梁的潜力，并提出了面向极端环境的新一代
电子器件的技术路线图。
在真空计论文版块，“MEMS热阴极电离真空计电路系统的开发”介绍了一种与MEMS
热阴极电离真空规相配套的电路系统，为研制实用的 MEMS 热阴极电离真空计提供了基
础。“温度对 MEMS 电容薄膜真空计测量性能的影响研究”研究了-20～50 ℃温度范围中
MEMS电容薄膜真空计的压力-电容特性，为MEMS电容薄膜真空计的温度补偿提供了有力
支撑。“热阴极电离真空计温度修正的仿真与实验研究”研究了热阴极电离真空计的热流逸
效应。“环形谐振式传感器及其真空气体阻尼特性研究”研究了一种环形谐振式传感器的真
空气体阻尼特性，并探讨了其用于真空压力测量的可行性。
在电子源论文版块，“基于热释电原理的低电压无磁离子泵性能研究”设计了一种以热
释电晶体为电子源、电压源的低电压无磁离子泵，所设计的离子泵作为辅助泵能有效提高分
-6
子泵在10 Pa数量级真空环境下的抽气效果。“加热电流对六硼化镧阴极场发射特性影响研
究”提供了一种实现高性能六硼化镧场发射电子源稳定发射的方法，对获取稳定发射的高性
能冷阴极点电子源提供了新思路。“硅尖锥冷阴极阵列衬底供应电流一致化排布设计”研究
了提升衬底供应电流在尖锥阵列中均匀分配的阴极排布及栅极图形设计方法，为实现均匀稳
定的大电流场发射提供了理论依据。“面向空间应用的铱-氧化钇灯丝研制”制备了一种使用
寿命超过2 300 h的铱-氧化钇灯丝。
