Page 65 - 《摩擦学学报》2021年第5期
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654                                     摩   擦   学   学   报                                 第 41 卷




                                                                  b6=1/6[2-1-1]
                                                                                         b8=1/6[12-1]
                                b3=1/6[11-2]                                    b7=1/6[2-1-1]
                                          b4=1/6[211]  z                                              z
                            b2=1/6[1-12]
                   b1=1/6[2-12]                                           b5=1/6[-11-2]
                                                     x   y                                           x   y
                            (a) h=1.25 nm                                    (b) h=1.25 nm




                                                      z                                               z
                                                         y                                               y
                                                     x                                               x
                              (c) h=2 nm                                       (d) h=2 nm






                                                      z                                               z
                                                         y                                               y
                                                     x                                               x
                              (e) h=3 nm                                       (f) h=3 nm

                Fig. 8  Micro-structure evolution for semi-coherent interface for Cu-Ni bilayer film (h=1.25, 2, 3 nm): (a,c,e) semi-coherent
                               interface of Cu based Ni film; (b,d,f) semi-coherent interface of Ni based Cu film
                     图 8    压痕的铜镍双层膜半共格界面微结构演化(压深h=1.25、2 和3 nm): (a,c,e) Cu基Ni膜半共格界面;
                                                  (b,d,f) Ni基Cu膜半共格界面

                                                               膜力学特性显著差异的机制展开深究,揭示出铜镍多
                                                       Ni
                             t B                               层膜半共格界面结构与压痕诱导产生的位错间相互
                                      r
             Interface
                                                               作用规律. 纵观本文中所述论据,现归纳总结出以下
                                                       Cu      重要结论:
                                                                   a. 在理论计算中,单晶Ni和单晶Cu受载荷作用,
                                                               晶体内发生不同程度的塑性变形,并出现一定程度

                    Fig. 9    Theoretical model of mirror force
                                                               HCP缺陷结构,该缺陷数目随压深增加而增多,且单
                          图 9    镜像力理论模型
                                                               晶镍在压痕中产生的塑性变形程度较单晶铜明显减
            位错表现为负值,界面对位错具有吸引力,位错有利                            弱,以致其硬度整体表现强于单晶Cu.
            于从共格区域进入到Cu膜中. 在Ni基Cu膜中镜像力                             b. 铜镍双层膜的半共格界面结构可改变材料力
            F对Ni的位错表现为正值,界面对位错具有排斥作用,                          学性质. 其中,Cu基表面镀Ni膜可使铜材料得到强化,
            使位错在界面处堆积,很难进入到Ni基中. 可见,镜像                         达到硬度与单晶Ni相当,而Ni基表面镀Cu膜可使该材

            力公式可很好地解释本结果的微观现象,获得与潘金                            料出现软化,其硬度远低于单晶镍,材料软化使得韧
            生提出的理论公式一致的结论. 因此,界面结构的共                           性增强,增强了材料抵抗变形能力和耐磨性.
            格程度由多层膜上下晶体结构的失配程度所决定. 由                               c. 分析了上层膜中受压痕载荷影响产生的位错
            于Cu-Ni晶格失配度为2.7%,模型经充分弛豫只形成                        与半共格界面上的失配位错网结构的相互作用力,
            半共格界面结构,尚未对其他半共格失配度的界面结                            Cu基Ni膜的强化作用归因于Cu基Ni膜界面上的失配
            构进行讨论.                                             位错网对压痕位错起排斥作用,导致半共格界面的共

                                                               格区域增大,更有利于压痕位错穿过界面进入Cu基;
            3    结论
                                                               而弱化作用来自于Ni基Cu膜界面上的失配位错网对
                采用分子动力学法对半共格界面引起铜镍双层                           位错的吸引,限定了压痕位错只在Cu层膜内运动,不
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