Page 9 - 《真空与低温》2026年第2期

128 真空与低温 第 32 卷 第 2 期

（1）通过有限元仿真分析，揭示了孔距相等与 film uniformity in physical vapor deposition[J]. Microelec-
孔距渐变两种布气方式对工作气体流场分布的影 tronic Engineering，2025，296：112294.
响规律。结果表明，采用等差数列递减的孔距布置 [7] SU Z J，JIE X H，LI W F，et al. Effect of C 2 H 2 flow rate and a
Ti/TiN/TiCN interlayer on the structure，mechanical and tri-
可有效补偿沿程压力损失，实现各气孔气体流量的
bological properties of a-C：H films deposited using a hybrid
均匀分布，为布气结构优化提供了理论依据。
PVD/PECVD process with an anode-layer ion source[J].
（2）针对孔口束流效应引起的局部气流不均问
Vacuum，2023，209：111753.
题，提出了气孔出口方向向下的布气结构改进方案。 [8] REN X，ZHAO S H，WANG W，et al. Corrosion resistance
仿真与实验证实，该结构可促进气体扩散与混合， of TiCN films prepared with combining multi-arc ion plating
削弱束流影响，从而在阴极靶面形成均匀稳定的气 and magnetron sputtering technique[J]. Rare Metal Materials
体分布。 and Engineering，2018，47（7）：2028−2036.
（3）实验结果表明，采用渐变孔距优化布气结 [9] BAKALOVA T，SVOBODOVÁ L，PETKOV N，et al. The
effect of the process gas mixture ratio on the structure and
构后，腔体上、中、下三个位置的刀具试件上 TiCN
composition of TiC and TiCN thin layers prepared by cathodic
膜层中 C 元素含量偏差小于 10%，外观颜色一致性
arc deposition on tool steel[J]. Journal of Manufacturing Pro-
好，有效解决了轴向沉积区域的着色不均匀问题。
cesses，2023，93：90−100.
（4）本研究提出的布气结构优化方法仅涉及布 [10] ZENG Z F，RUAN Y，XIE Z B. The Influence of the work-
气管路的改进，无需复杂对称结构或高精度装配要 ing gas in the vacuum sputtering coater on the chromatic
求，具有良好的工程适用性，为现有 PVD 镀膜设备 aberration of the plating articles[J]. Mechanical & Electri-
的均匀性提升与技术改造提供了可行路径。 cal Engineering Technology，2021，50（4）：151−152.
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tion of reactor airflow and magnetic field for enhanced thin （责任编辑：郭 云）

引文信息：蒋钊，马占吉，张延帅. PVD 镀膜设备阴极系统均匀布气结构的仿真与实验优化[J]. 真空与低温，2026，32（2）：
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