Page 20 - 《真空与低温》2025年第5期
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田 恺等:影响空心阴极筛选试验中阳极电压增大的因素研究                                        559


              激活和老炼试验为三极放电模式,自持放电为二极                                          e 2   (  V a −V k  n k −n a  )
                                                                     J e = −              n k +    T e   (3)
              工作模式,空心阴极筛选试验要求点火成功后稳态                                      m(ν en + ν ei )  d ak  d ak
              工作时    V a ≤30 V。                                 式中:“–”为电子电流方向与离子电流方向相反,
                                                                右边第一项为漂移电流,第二项为扩散电流。
                               开始
                                                                     式(3)给 出 了   J e 与  ν en 、 ν ei 、 V k 、 V a 、 d ak 、 n k 、 n a 、
                           打开气阀,设定m Xe                          T e 的函数关系,是分析空心阴极               V a 变化的基本
                                                                方程。
                            设定I h ,输出V h
                                              保持3 min
                                                                 3.2 V a 增大因素分析
                         设定I k 、I a ,输出V k 、V a
                                                                     空心阴极为      J e 恒流输出,根据式(3)可以定性
                                                                给出   V a 增大原因。
                         设定脉冲参数,输出V i
                     N        点火成功                                   (1) ν en 、ν e 对 i  V a 影响
                               Y                                     在真空压力不变的情况下,ν en 、ν e 为常数。如
                                                                                                   i
                              激活试验
                                                                                                            −
                                                                                             0
                                                                                         −
                                              保持40 h            果真空舱出现漏点,除了             e –Xe 碰撞外,还有       e 与
                              自持试验                              大气分子碰撞,ν e 将变大,则在其他物理量不变的
                                                                                n
                                              循环5次
                                                                情况下,只有      V a 增大才能保持      J e 恒定。
                              老炼试验
                                              循环50次
                                                                     (2) d a 对 k  V a 影响
                             V a 、V k 关闭
                                                                     d a 会影响  ∇V ak和 ∇n ak,如果  d a 增大,则在其他
                                                                                               k
                                                                      k
                              关闭气阀                              物理量不变的情况下,只有              V a 增大才能保持      J e 恒
                                                                定。V a 受   d a 影响非常敏感,因此,筛选试验中
                                                                           k
                               结束                                                                           d ak
                                                                设置为固定值。
                          图  3 LHC-3 L  筛选试验流程                       (3) V k 对  V a 影响
                     Fig. 3 Procedure for LHC-3 L screening test     V k 会影响  ∇V ak,V k 由触持极工艺和触持电流

                                                                I k 决定。在筛选试验中,I k 设为定值,且              I k 设定好
               3 V a 增大因素研究
                                                                后,V k 为仅在微小范围内变化。如果                V k 异常增大,
               3.1 J e -V a 理论模型                                则在其他物理量不变的情况下,只有                   V a 增大才能
                  根据空心阴极电子发射原理,阳极轴向电子电                          保持   J e 恒定。
              流密度    J e 可用部分电离气体的漂移-扩散理论                  [9]       (4) n k 、n a 对  V a 影响
              描述:                                                    n k 首先会影响方程漂移电流。在其他物理量
                                  (          )
                                1       ∇n ak T e               不变的情况下,n k 减小时,V a 必须增大才能保持
                            J e =  E ak +              (1)                                                   J e
                                η
                                                                恒定。其次,在其他物理量不变的情况下,n k –n a 减
                                         n k
                         −
                                  −
                                      +
              式中:η 为    e –Xe 和 0  e –Xe 碰撞的总电阻率;E a 为          小,  ∇n ak将减小,只有     V a 增大才能保持      J e 恒定。影
                                                         k
              阳极-触持极间的电场强度;n k 为触持孔处的等离                         响  n k 减小的因素包括发射体电子发射能力不足,
              子体密度;     ∇n ak为阳极-触持极间的等离子体密度                    热屏保温性能差,触持孔变大,供气质量流率降
              梯度;T e 为电子温度。其中:                                  低等。
                            m(ν en + ν ei )
                       
                       η =
                                                                    (5) T e 对  V a 影响
                       
                                2
                              n k e
                       
                                                                    T e 会影响扩散电流,阳极收集的             T e 通常由加
                       
                       
                       
                                             V a −V k
                                     ∂V ak            (2)
                        E ak = −∇V ak = −  = −                 速电场    E a 决定,如果出现       T e 减小,在其他物理量
                                                                         k
                       
                                      ∂z      d ak
                       
                       
                                                               不变的情况下,只有          V a 增大才能保持     J e 恒定。
                       
                       
                              ∂n ak  n a −n k
                       ∇n ak =    =
                       
                       
                               ∂z     d ak                       3.3 试验验证
              式中:m    为电子质量;e 为电子电量;ν en 、ν e 分别为                    本节仅从筛选试验角度开展筛选次数、d ak 、
                                                     i
                   0
               −
              e –Xe 、e –Xe 碰撞频率;     ∇V ak为阳极-触持极间的              ˙ m Xe、V k 对  V a 增大影响的试验验证,验证结果如下。
                      −
                          +
              电位梯度;V k 、V a 分别为触持极电位和阳极电位;                           (1) 筛选次数对     V a 影响
              n a 为阳极等离子体密度。将式(2)代入式(1),得:                           在筛选试验中,因空心阴极发射体电子发射能
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