Page 26 - 《爆炸与冲击》2025年第12期
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第 45 卷                  张鸿宇,等: 颗粒靶体撞击溅射行为研究进展                                  第 12 期

                                                                                                 Y t  为例,实
                   (3) 相似律实质是对撞击溅射宏观过程的等效,无法反映细观参数的影响。以靶体强度
               际是靶体孔隙率、颗粒粒径及形状等细观因素耦合作用的结果,而细观参数对撞击溅射过程的影响则无
               法通过相似律表征。
                   随着实验技术以及测试手段的提升,对于影响撞击成坑和溅射过程的关键参数,相关研究由颗粒靶
               体、撞击体的各个细节切入,对撞击溅射过程有了全方位更深层次的理解。接下来将针对颗粒靶体参
               数、撞击参数、靶体表面形貌、撞击体形状和结构等对撞击溅射行为的影响,综述现有研究成果及存在
               的科学问题。

                3    靶体参数对溅射行为的影响


                3.1    孔隙率
                   在提出撞击成坑以及溅射的相似律时,应用靶体强度的概念将孔隙率耦合在内,使得相似律在靶体
               孔隙率变化时仍然保持适用性,并且                 Housen  等  [65]  推测,靶体特征指数    μ  应呈现随孔隙率增大而减小的
               变化规律。在随后开展的实验中,该推论得到了一定的验证,但是近年来针对颗粒浮石靶体(μ=0.54)                                         [65] 、
               多孔石墨靶体(μ=0.66)      [88]  等具有更高孔隙率靶体的撞击实验结果表明,靶体特征指数                       μ  随孔隙率的变化
                                                         µ  值  [89] 。
               并不单调,即高孔隙率靶体同样可能对应较大的
                   此外,颗粒靶体孔隙率的变化还可影响溅射幕的溅射角。Luther 等                          [90]  的研究表明,在撞击的初始阶
               段,孔隙率对溅射角度的影响有限。然而,随着溅射幕的进一步扩展,靶体孔隙率的增大可导致溅射角
               度的增大。该特性在          Marston  等  [91]  开展的撞击实验中也得到了印证,如图             10(a) 和  (b) 所示,孔隙率(ϕ)
               更大的玻璃珠靶体具有更大的溅射角度。值得注意的是,Lohse 等                          [92]  和  Marston  等 [93-94]  利用撞击前靶舱
               底部喷出的气体驱使颗粒充分流化,获得了更大的孔隙率,结果显示,溅射幕溅射角进一步增大,如
               图  10(c) 所示,甚至出现了类似流体中的沃新顿喷流现象                    [95] 。由此可知,颗粒类靶体在高孔隙率条件下
               可能呈现出更强的流动性,这为应用流体动力学理论分析颗粒靶体撞击溅射行为提供了支撑。








                         (a) Glass beads, D p =31 μm, ϕ=51% [91]       (b) Glass beads, D p =31 μm, ϕ=39% [91]












                                         (c) Jet formation after the impact on loose very-fine sand [92]

                                           图 10    不同靶体孔隙率下撞击产生的溅射角        [91-92]
                                         Fig. 10    Ejecta angles for different target porosities [91-92]

                   针对上述特性,Housen       等 [65]  提出,当颗粒靶体具有较高的孔隙率时,撞击体在接触压缩靶体的过程
               中会引发颗粒位错,并使靶体被进一步压实。此过程会抑制瞬态撞击坑形成后的继续扩展,导致通过实
               验数据拟合得到的靶体特征指数               μ  发生变化。由此,对于具有高孔隙率的颗粒靶体,Housen                     等  [65]  在现有
               的重力主导因素和强度主导因素之外引入压实因素,使得相似分析过程更加符合实际物理过程。另外,
               由于相邻颗粒位错时发生碰撞和摩擦,撞击形成的压缩波在靶体中传播时快速衰减                                      [68] ,并且沿半径方向



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