Page 102 - 《真空与低温》2026年第2期

张英明等：基于 GM 制冷机的超大抽速低温泵研制成功 221

1.7×10 6
280
1.5×10 6
240
200 低温冷板远 1.3×10 6
温度/K 160 制冷机端温度 抽速/ （L·s −1 ） 1.1×10 6
120
80 9×10 5
制冷机温度
40 7×10 5
0 5×10 5 −4 1×10 −3 1×10 −2
2025/9/18 22:33
2025/9/19 01:40
2025/9/19 04:48
2025/9/18 21:00 2025/9/19 00:07 2025/9/19 03:14 2025/9/19 06:21 压力/Pa
1×10
时间
（a）低温泵降温曲线 （b）低温泵抽速曲线

图 2 低温泵性能测试曲线
Fig. 2 Performance test curves of cryopump

关键词：GM 制冷机；低温泵；抽速
Key words：GM cryocooler；cryopumps；pumping speed
中图分类号：TB752；TB651 文献标志码：A 文章编号：1006-7086（2026）02-0220-02
DOI：10.12446/j.issn.1006-7086.2026.02.014

引文信息：张英明，闫格，张兆慧，等. 基于 GM 制冷机的超大抽速低温泵研制成功[J]. 真空与低温，2026，32（2）：220−221.
ZHANG Y M，YAN G，ZHANG Z H，et al. Ultra-high pumping speed cryopump based on GM refrigerator developed suc-
cessfully[J]. Vacuum and Cryogenics，2026，32（2）：220−221.