Page 81 - 《摩擦学学报》2020年第5期

636 摩 擦 学 学 报 第 40 卷

的判断国内外主要采用的是划痕检测方法. 对单一的 层裂纹相关联的其后膜层结合失效/出现小块膜层从
膜的检测标准而言，国内外“临界载荷”的定义是各不 基底剥落的开始点；L 通常定义为薄膜大面积剥落的
c3
相同的： 开始点.
(1)国内通常采用声发射法或者摩擦力法测量“薄
2 结果与讨论
膜内聚力失效”(L *)和“膜基结合力失效”(L )后者又
c
c
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称“临界载荷” . 2.1 涂层表面与截面形貌
(2)国外主要采用1个或多个临界载荷(L )以及结 图1为TiAlN和不同Ag含量TiAlAgN涂层的表面
cn
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合划痕具体损坏程度来进行判断. ASTM标准 采用 形貌与对应的截面形貌. 由表面形貌图[图1(a)、(c)、
显微镜直接观察，确定两个临界载荷：L 为膜层上出 (e)]中可见许多大小不一的颗粒，这是由电弧离子镀
c1
现(龟)裂纹开始点；L 为在更高的压力作用下，和膜 产生的熔滴引起的 . 这些大小不一由熔滴导致的颗
[16]
c2

4.18 μm

50 μm Substrate 5 μm

(a) TiAlN, surface (b) TiAlN, cross-section

5.31 μm

50 μm Substrate 5 μm

(c) TiAlAgN (0.12%Ag), surface (d) TiAlAgN (0.12%Ag), cross-section

4.69 μm

50 μm Substrate 5 μm

(e) TiAlAgN (0.30%Ag), surface (f) TiAlAgN (0.30%Ag), cross-section

Fig. 1 Surface and cross-section of TiAlN and TiAlAgN coatings
图 1 TiAlN、TiAlAgN涂层的表面与截面形貌