Page 3 - 《真空科学与技术学报》2024年第3期
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    Calibrated and screened
 633-00651A
 2400-175I-H
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 中国超高真空获得技术领先者  99%  98%  © 2006 Kodak     Pixel Size: 10.6 µm  Screen: 175 lpi  Resolution: 2400 dpi  Interpreter: Kodak Prinergy Normalizer  Kodak Plate Control Strip v4.0.1  1     24-04-11  -- -- -- --  -- -- -- --  --------  -- -- -- --  1  U  --  BlackCyanMagentaYellow
 一体化磁悬浮分子泵         真空排气装置              真空过程工艺装备                 空间环境模拟装置                 检漏工程与装备
 高性能涡轮动静叶片设计  高强度铝合金涡轮材质制造
 整体转子精密加工  高精度位移传感器设计


 无位置传感器高速电机制造及控制  稀薄流态的真空性能仿真


 磁悬浮轴承制造及控制  复杂转子系统动力学分析
                        三工位阴极转移系统                                   劳埃透镜/纳米聚焦镜镀制系统


                  全球最大尺寸光电倍增管生产核心工艺装备                               攻克纳米多层膜制备、曲面均匀沉积、高精密运动控制
                  掌握光电倍增管阴极激活、转移和铟封等关键技术                            等多项关键核心技术
                  应用于中科院江门中微子实验室                                    应用于北京高能同步辐射光源项目




 晶圆制造前道工艺  航空航天

 真空镀膜   太阳能光伏



 性能优势                                                                                                                                ᆇॢ॓࿐ა࠯ඌ࿐Б    ᆞ໓  ࢋר KPC  ֻ ๎ "૫

 01  一体化设计，结构紧凑
 控制器与分子泵集成一体，任意角度安装，方便系统集成
 02  大抽速、防沉积
 采用独特的抽气结构设计和电机控制，排气性能强劲，防沉积
 03  高洁净、免维护、节能环保  航天器零部件及整机测试装置                                         超高压管道氦检漏设备
 无摩擦，避免润滑和热损耗，洁净无油，免维护，节能环保
                  掌握先进热沉制造技术、太阳模拟器、紫外模拟器、                           单位检漏距离18米，实现长距离快速充氦及回收
 04  自动保护、防冲击、远程故障诊断  原子氧制造机等多项关键技术                                 应用于全球首条特高压过江隧道苏通GIL综合管廊工程
 集成智能管理系统，断电自动保护，冲击预警保护，远程故障诊断
                  应用于天和核心舱、“慧眼”卫星等地面模拟测试
 05  满足定制化需求
 自主可控，可定制防腐、加热等功能，提供多种通讯方式供选择








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